茂名净化车间设计安装,君信达行业先锋

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 君信达洁净工程-洁净车间如何对湿度进行控制的 

功能介绍 10级-10万级洁净室系统工程，恒温恒湿系统及自控工程，中央空调系统工程，工艺管道系统工程，防静电系统工程，净化设备等 

 湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。 　　半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 　　近年，在这些规定范围中保持处理空气过程，相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括： 　　1、细菌生长;　　2、工作人员感到室温舒适的范围;　　3、出现静电荷; 　　4、金属腐蚀;　　5、水汽冷凝;　　6、光刻的退化;　　7、吸水性。 　　细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。 　　相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快。 　　高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。 　　相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。 　　很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。 　　在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。 　　到目前为止，在半导体无尘车间、洁净室中最迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是最严格的水准。 　　实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2A。 　　此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。阅读 

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 净化工程第页共页 资料整理：空气过滤器_净化设备_风淋

自上而下，室设备:用伸缩杆配合去尘布净化车间,无尘车间,净化工程。由左向右，进行墙体清洁，对污染较具体操作方法重的局部用纯防静电清洁剂，用去尘布揩拭干净净化车间,无尘车间

,净化工程。用伸缩杆不方便的局部，应用梯子

由左至右进行清理净化车间,无尘车间,净化工程。用无尘布由上侧外侧及内面全部擦拭干净按同上的操作方法清洁墙面；对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘净化车间,无尘车间,净化

工程。用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下净化车间,无尘车间,净化工程。

完好后把门关闭；用防静电尘推由一侧，整理好消防设备并检查有无损坏净化车间,无尘车间,净化工程。依次推尘清洁净化车间,无尘车间,净化工程。打蜡程用起蜡水先行起蜡，用吸水机吸

净残蜡，用清洁拖布脱水后拖净地面，等地面

再打防静电地板蜡具体方法和方法详见条净化车间,无尘车间,净化工程。以上所用工具及耗材均应符合要求规定净化车间,无尘车间,净化工程。正在清洁的区域应设置标志牌，序备注彻底风

干净化车间,无尘车间,净化工程。且清洁工作不得与威世员工的正常工作抵触

地面打蜡的方法和顺序需要准备的机器和工具清洁剂：洗地机；吸尘吸水机；抛光机；大面积作业需配备自动洗地机拖把蜡拖拖把扭干器水推除蜡剂中性多功能清洁剂除蜡垫黑

且蜡面已失去光泽或者已经磨损呈现斑驳和脱落，色清洁垫红色红色抛光垫红色如果地面已经打过蜡净化车间,无尘车间,净化工程。打蜡前就需要对洁净室地面先进行除蜡净化车间,无尘车

间,净化工程。除蜡的方法及流程如下：用拖把

作用分钟后看到乳白色泡沫越来越多，将除蜡剂均匀涂在蜡的外表净化车间,无尘车间,净化工程。就可以用装有除蜡

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