肇庆净化车间设计安装,君信达行业先锋

 肇庆净化车间设计安装,君信达行业先锋

 君信达洁净工程-洁净车间如何对湿度进行控制的 

功能介绍 10级-10万级洁净室系统工程，恒温恒湿系统及自控工程，中央空调系统工程，工艺管道系统工程，防静电系统工程，净化设备等 

 湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。 　　半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 　　近年，在这些规定范围中保持处理空气过程，相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括： 　　1、细菌生长;　　2、工作人员感到室温舒适的范围;　　3、出现静电荷; 　　4、金属腐蚀;　　5、水汽冷凝;　　6、光刻的退化;　　7、吸水性。 　　细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。 　　相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快。 　　高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。 　　相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。 　　很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。 　　在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。 　　到目前为止，在半导体无尘车间、洁净室中最迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是最严格的水准。 　　实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2A。 　　此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。阅读 

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欲需达到设定要求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间净化车间,无尘车间,净化工程。非单方向流方式 适用洁净等级,运转再激活净化车间,无尘车间,净化工程。,级乱流式典型结构形式 

层流式层流式空气气流运动成一均匀直线形，空

并由高架地板或两侧隔墙板回风，气过滤器进入室内净化车间,无尘车间,净化工程。此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为净化车间,无尘车间,净化工程。其型

式可分为二种：水平层流式：水平式空气自过滤

由对边墙壁之回风系统回风，器单方向吹出净化车间,无尘车间,净化工程。尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重净化车间,无尘车间,净化工程。优点：构造简单，运转后短时间内

即可达到要求，稳定运转净化车间,无尘车间,净化工程。缺点：建造费用比乱

室内空间不易扩充净化车间,无尘车间,净化工程。垂直层流式：空气由上往下吹，流式高净化车间,无尘车间,净化工程。可得较高之洁净度，制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外

而不会影响其它工作区域净化车间,无尘车间,净化工程。优点：管理容易，

不易为作业状态或作业人员所影响净化车间,无尘车间,净化工程。缺点：构造费用较高，运转开始短时间内即可达稳定状态净化车间,无尘车间,净化工程。弹性运用空间困难，天花板之吊架

相当占空间，维修更换过滤器较麻烦净化车间,无尘车间,净化工程。垂直单方

可提供局部超洁净之空气净化车间,无尘车间,净化工程。洁净隧道：以或过滤器将制程区域或工作向流方式 适用洁净等级级层流式典型结构形式 复合式混流方式复合式为将乱流式及层流式

予以复合或并用净化车间,无尘车间,净化工程。

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